有機廢氣在RTO氧化室加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解成為無害的CO2和H2O;氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來， 用于預熱新進入的有機廢氣，從而節(jié)省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。
有機廢氣經高壓鼓風機進入蓄熱室A的保留了上一循環(huán)熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量溫度降低，而有機廢氣吸收熱量溫度升高。廢氣離開蓄熱室A后，以較高的溫度進入氧化室，準備進行氧化。在氧化室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度,此時溫度為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室A內進行過預熱，燃燒器的燃料用量大為減少
廢氣經過氧化室的高溫氧化成為了凈化的高溫氣體，離開氧化室，進入在上一循環(huán)已冷卻的蓄熱室B。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室B吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環(huán)加熱廢氣。與此同時，C槽的回流閥打開，將蓄熱室C的少許前循環(huán)殘留在其中的微量有機氣體，抽送至氧化室中進行高溫氧化，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室B，經由高空排放系統(tǒng)排入大氣。
下一循環(huán)，有機廢氣由蓄熱室B進入氧化室，由蓄熱室C排出，于此同時A槽的回流閥打開，將蓄熱室A的少許前循環(huán)殘留在其中的微量有機氣體抽入氧化室進行高溫氧化。
再下一循環(huán)，有機廢氣由蓄熱室C進入氧化室，由蓄熱室A排出，于此同時B槽的回流閥打開,將蓄熱室B的少許前循環(huán)殘留在其中的微量有機氣體抽入氧化室進行高溫氧化。如此交替循環(huán)。